VO2/AZO复合薄膜的制备及其光电特性研究OA北大核心CSCDCSTPCD
Fabrication and optical-electrical prop erties of VO2/AZO comp osite films
采用直流磁控溅射和后退火氧化的方法在掺铝氧化锌(AZO)导电玻璃上制备了二氧化钒(VO2)薄膜,研究了不同的退火温度、退火时间对VO2/AZO复合薄膜制备的影响,并对复合薄膜的结构、组分、光电特性进行了测试与分析。结果表明,导电玻璃上的AZO没有改变VO2的取向生长,但明显改变了VO2薄膜的表面形貌特征。与用相同工艺和条件在普通玻璃基底上制备的VO2薄膜相比, VO2/AZO复合薄膜的相变温度降低约25◦C,热滞回线宽度收窄至6◦C,相变前后可见…查看全部>>
Vanadium dioxide (VO2) thin films have been fabricated on the ZnO-doped Al conductive glass (AZO) substrates by DC magnetron sputtering and after thermal annealing. Effect of different annealing temperature and time olunation on the VO2/AZO composite films has been studied, then the structure, components and optical-electrical properties of the composite films are tested and analyzed by suitable instruments. Results show that the AZO film deposited on the co…查看全部>>
袁文瑞;郝如龙;方宝英;肖寒;李毅;王晓华;郑鸿柱;陈少娟;陈建坤;孙瑶;唐佳茵;刘飞
上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093 上海市现代光学系统重点实验室，上海 200093上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093 上海电力学院计算机与信息工程学院，上海 200090上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海 200093
VO2AZO热致相变光电特性
VO2AZOthermochromicoptical-electrical properties
《物理学报》 2014 (21)
387-394,8
国家高技术研究发展计划(863计划)项目(批准号:2006AA03Z348)、教育部科学技术研究重点项目(批准号:207033)、上海市科学技术委员会科技攻关计划项目(批准号:06DZ11415)、上海市教育委员会科技创新重点项目(批准号:10ZZ94)和上海领军人才培养计划资助项目(批准号:2011-026)资助的课题.* Project supported by the National High Technology Research and Development Program of China (Grant No.2006AA03Z348), the Foundation for Key Program of Ministry of Education, China (Grant No.207033), the Science and Technology Research Projects of Shanghai Science and Technology Commission, China (Grant No.06DZ11415), the Key Science and Technology Research Project of Shanghai Committee, China(Grant No.10ZZ94), and the Shanghai Talent Leading Plan, China(Grant No.2011-026)
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