机械科学与技术2015，Vol.34Issue(8)：1259-1262,4.DOI:10.13433/j.cnki.1003-8728.2015.0822
一种压阻式压力传感器稳健设计方法研究
Research on Robust Design Method of a Piezoresistive Pressure Sensor
摘要
关键词
压阻式压力传感器/灵敏度/仿真分析/路径积分/Taguchi方法/信噪比Key words
computer simulation/design of experiments/MEMS/optimization/path integration/piezoelectricity/piezoresistive pressure sensor/pressure sensors/sensitivity/signal to noise ratio/simulation analysis/Taguchi method/varistors分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李佳玮,谭晓兰,汪海涛..一种压阻式压力传感器稳健设计方法研究[J].机械科学与技术,2015,34(8):1259-1262,4.基金项目
国家自然科学基金项目(51375017)与北京市自然科学基金项目(3122014)资助 （51375017）
