世界有色金属Issue(8)：17-20,4.
四氯化硅流化床冷氢化工艺的研究
Hydrogenation Process of Silicontetrachloride on Fluidized Bed
刘挥彬 1张升学 1杨永亮 1严大洲1
作者信息
- 1. 中国恩菲工程技术有限公司,北京100038
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摘要
关键词
多晶硅/四氯化硅/流化床/冷氢化分类
化学化工引用本文复制引用
刘挥彬,张升学,杨永亮,严大洲..四氯化硅流化床冷氢化工艺的研究[J].世界有色金属,2015,(8):17-20,4.
