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放电泵浦ArF准分子激光动力学模拟与参数分析

罗时文左都罗王新兵

强激光与粒子束2015，Vol.27Issue(8)：29-34,6.

强激光与粒子束2015，Vol.27Issue(8)：29-34,6.DOI:10.11884/HPLPB201527.081006

Kinetic simulation of discharge excited ArF excimer laser and parameter analysis

罗时文 ¹左都罗 ¹王新兵¹

作者信息

ArF准分子激光/流体模型/放电电路/电子密度/光子密度

ArF excimer laser/fluid model/discharge circuit/electron density/photon density

信息技术与安全科学

罗时文,左都罗,王新兵..放电泵浦ArF准分子激光动力学模拟与参数分析[J].强激光与粒子束,2015,27(8):29-34,6.

02专项课题（）

OA北大核心CSCD

ISSN：1001-4322

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