|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|中国光学|制膜技术与装置

制膜技术与装置

中国光学Issue(1)：P.75-76,2.
✕
中国光学Issue(1)：P.75-76,2.

制膜技术与装置

摘要

关键词

纳米金刚石薄膜/热丝化学气相沉积/生长过程/大面积均匀/扫描电镜/玻璃薄膜/薄膜制备/喇曼光谱/等离子辅助/碳化硅薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

..制膜技术与装置[J].中国光学,2003,(1):P.75-76,2.

中国光学

2095-1531

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文