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制膜技术与装置

中国光学Issue(6)：P.43-45,3.
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中国光学Issue(6)：P.43-45,3.

制膜技术与装置

摘要

关键词

多晶硅薄膜/淀积多晶硅/离子束/原子力显微镜/半导体薄膜/技术研究所/膜过程/光电工程/制备/晶体薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

..制膜技术与装置[J].中国光学,2003,(6):P.43-45,3.

中国光学

2095-1531

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