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制膜技术与装置

中国光学Issue(6)：P.44-47,4.
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中国光学Issue(6)：P.44-47,4.

制膜技术与装置

摘要

关键词

类金刚石薄膜/金刚石成核/人工晶体/金刚石膜/成核密度/膜技术/负衬底偏压/过渡层/原子力显微镜/扫描电子显微镜

分类

数理科学

引用本文复制引用

..制膜技术与装置[J].中国光学,2000,(6):P.44-47,4.

中国光学

2095-1531

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