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薄膜材料与器件

中国光学Issue(2)：P.65-66,2.
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中国光学Issue(2)：P.65-66,2.

薄膜材料与器件

摘要

关键词

薄膜材料/二次离子质谱/首次发现/气敏特性/光学气敏/工艺条件/含量分析/特性研究/透过率/近红外波段

分类

数理科学

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..薄膜材料与器件[J].中国光学,2001,(2):P.65-66,2.

中国光学

2095-1531

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