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镀膜技术及设备

中国光学Issue(5):P.72-74,3.
中国光学Issue(5):P.72-74,3.

镀膜技术及设备

摘要

关键词

多层膜/激光分子束外延/超导薄膜/不连续金属薄膜/电子显微学报/中科院/溅射制备/类金刚石薄膜/铁电薄膜/基片温度

分类

数理科学

引用本文复制引用

..镀膜技术及设备[J].中国光学,1998,(5):P.72-74,3.

中国光学

2095-1531

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