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微细加工技术与设备

中国光学Issue(1)：P.95-96,2.
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中国光学Issue(1)：P.95-96,2.

微细加工技术与设备

摘要

关键词

微细加工技术/扫描隧道显微镜/光电子/离子束刻蚀/微透镜阵列/离子束溅射/纳米加工/投影光刻/石英微透镜/技术与设备

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

..微细加工技术与设备[J].中国光学,1999,(1):P.95-96,2.

中国光学

2095-1531

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