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光学镀膜与装置

中国光学Issue(5)：P.65-68,4.
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中国光学Issue(5)：P.65-68,4.

光学镀膜与装置

摘要

关键词

外延薄膜/半导体技术/应用前景/中科院/最新进展/制备/衬底温度/离子束外延/基薄膜/国家重点实验室

分类

数理科学

引用本文复制引用

..光学镀膜与装置[J].中国光学,1999,(5):P.65-68,4.

中国光学

2095-1531

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