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MEMS规模制造技术基础研究

庄琰

科技纵览Issue(8)：P.52-53,2.
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科技纵览Issue(8)：P.52-53,2.

MEMS规模制造技术基础研究

庄琰1

作者信息

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摘要

关键词

MEMS器件/基础研究/制造技术/质量评价方法/工艺过程/微机电系统/973计划/结构应力

分类

机械制造

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庄琰..MEMS规模制造技术基础研究[J].科技纵览,2015,(8):P.52-53,2.

科技纵览

2095-4409

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