传感技术学报2011，Vol.24Issue(2)：196-199,4.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2011.02.008
基于红外光干涉技术的微纳结构内部三维形貌测量
Internal Profile Measurement of Micro-Nano Structure Based on Infrared-Light Interference Technology
摘要
关键词
白光扫描/红外光干涉/微纳结构/形貌测量分类
数理科学引用本文复制引用
牛康康,丑修建,杜妙璇,薛晨阳,张文栋..基于红外光干涉技术的微纳结构内部三维形貌测量[J].传感技术学报,2011,24(2):196-199,4.基金项目
国家863计划(2007AA04Z321) （2007AA04Z321）
国家自然科学基金(50535030) （50535030）
中国博士后科学基金项目(20090461275) （20090461275）
