传感技术学报2011，Vol.24Issue(7)：970-975,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2011.07.008
静电驱动MEMS谐振式压力传感器闭环拓扑研究
Closed-Loop Topologies for Electrostatic Drive Resonant Pressure Sensor
王玉朝 1苑伟政 1任森 1乔大勇1
作者信息
- 1. 西北工业大学微/纳米系统陕西省重点实验室,西安710072
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摘要
关键词
MEMS/谐振式压力传感器/闭环拓扑/频率跟踪/PLL分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王玉朝,苑伟政,任森,乔大勇..静电驱动MEMS谐振式压力传感器闭环拓扑研究[J].传感技术学报,2011,24(7):970-975,6.
