自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅OA北大核心CSCDCSTPCD
Plane holographic varied-line-space grating for DCLS in EUV region
针对极紫外波段自由电子激光器(大连相干光源,DCLS)对高分辨能力平面变栅距光栅的需求,基于光程差以及像差原理构建了极紫外平面变栅距全息光栅.采用改进的局部优化算法给出了平面变栅距光栅的记录参数,利用全息曝光技术在硅光栅基底上制作了中心刻线密度为600 gr/mm、占宽比为0.46、槽深为550 nm、有效刻划面积为30 mm×30 mm的极紫外平面变栅距全息光栅.采用Littrow衍射法测量了平面变栅距光栅的刻线密度,并基于像差理论分析了平面变…查看全部>>
姜岩秀;巴音贺希格;赵旭龙;杨硕;吴娜
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033中国科学院大学,北京100049中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033中国科学院大学,北京100049
信息技术与安全科学
自由电子激光器平面变栅距光栅全息曝光刻线密度误差分辨能力
free electron laserplane varied-line-space gratingholographic exposuregroove density errorresolution
《光学精密工程》 2015 (8)
2117-2124,8
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ120023)
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