光学精密工程2015，Vol.23Issue(8)：2117-2124,8.DOI:10.3788/OPE.20152308.2117
自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅
Plane holographic varied-line-space grating for DCLS in EUV region
摘要
关键词
自由电子激光器/平面变栅距光栅/全息曝光/刻线密度误差/分辨能力Key words
free electron laser/plane varied-line-space grating/holographic exposure/groove density error/resolution分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
姜岩秀,巴音贺希格,赵旭龙,杨硕,吴娜..自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅[J].光学精密工程,2015,23(8):2117-2124,8.基金项目
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ120023) （No.2011YQ120023）
