计量学报2015，Vol.36Issue(6)：565-569,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2015.06.02
二维纳米位移台测量系统的搭建和实验研究
The Build of Two-dimensional Nano-displacement Measurement System and Experiment Research
摘要
关键词
计量学/纳米位移台/激光干涉仪/误差分析/不确定度Key words
metrology/nano stages/laser interferometer/error analysis/uncertainty分类
通用工业技术引用本文复制引用
赵贤云,高思田,李琪,卢荣胜..二维纳米位移台测量系统的搭建和实验研究[J].计量学报,2015,36(6):565-569,5.基金项目
国家科技支撑项目(2011BAK15B01) （2011BAK15B01）
