南京航空航天大学学报2015，Vol.47Issue(5)：672-677,6.DOI:10.16356/j.1005-2615.2015.05.007
热退火对溅射法Al-Sn共掺ZnO薄膜光电性能的影响
Effects of Thermal Annealing on Optical and Electrical Properties of Al-Sn Co-doped ZnO Films by Sputtering
摘要
关键词
ZnO薄膜/共掺杂/光学性能/电学性能Key words
ZnO film/co-doped/optical properties/electrical properties分类
数理科学引用本文复制引用
姚函妤,沈鸿烈,李金泽,任政..热退火对溅射法Al-Sn共掺ZnO薄膜光电性能的影响[J].南京航空航天大学学报,2015,47(5):672-677,6.基金项目
国家自然科学基金(61176062)资助项目 （61176062）
江苏省前瞻性联合研究项目(BY2013003-08)资助项目 （BY2013003-08）
江苏高校优势学科建设工程资助项目. （）
