曲阜师范大学学报（自然科学版）2011，Vol.37Issue(3)：55-56,61,3.
衬底温度对电子束沉积LaF3薄膜表面形貌的影响
Substrate Temperature's Effects on Surface Morphology of LaF3 Films Prepared by Electron Beam Gun Evaporation
郝殿中 1韩培高 1宋连科1
作者信息
- 1. 曲阜师范大学激光研究所,山东省激光偏光与信息技术重点实验室,273165,山东省曲阜市
- 折叠
摘要
关键词
光学薄膜/衬底温度/均方根粗糙度/电子束沉积/LaF3分类
数理科学引用本文复制引用
郝殿中,韩培高,宋连科..衬底温度对电子束沉积LaF3薄膜表面形貌的影响[J].曲阜师范大学学报（自然科学版）,2011,37(3):55-56,61,3.
