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微波等离子体炬法合成金刚石薄膜的研究

黄芳亮

科技创新与应用Issue(7)：25-25,26,2.
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科技创新与应用Issue(7)：25-25,26,2.

微波等离子体炬法合成金刚石薄膜的研究

黄芳亮1

作者信息

  • 1. 四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地，西南科技大学，四川 绵阳 621010
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摘要

关键词

微波等离子体炬/金刚石薄膜/微波功率

引用本文复制引用

黄芳亮..微波等离子体炬法合成金刚石薄膜的研究[J].科技创新与应用,2013,(7):25-25,26,2.

科技创新与应用

2095-2945

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