强激光与粒子束2015，Vol.27Issue(11)：112-117,6.DOI:10.11884/HPLPB201527.112008
大气常压等离子射流清洗溶胶-凝胶SiO2膜表面油脂污染物
Atmosphere pressure plasma cleaning of grease contamination on sol-gel SiO2 coating
摘要
关键词
大气常压等离子射流/溶胶-凝胶SiO2膜/高功率激光真空系统/油脂污染物/激光损伤阈值Key words
atmosphere pressure plasma jet/sol-gel SiO2 coating/vacuum system of high power laser/grease contamination/laser induced damage threshold分类
数理科学引用本文复制引用
刘昊,苗心向,杨科,吕海兵,邹睿,周国瑞,程晓峰,严鸿维,袁晓东..大气常压等离子射流清洗溶胶-凝胶SiO2膜表面油脂污染物[J].强激光与粒子束,2015,27(11):112-117,6.基金项目
国家自然科学基金项目(51535003) （51535003）
