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微纳水溶解抛光工艺参数对KDP晶体面粗糙度影响的试验研究

王旭 高航 陈玉川 滕晓辑

人工晶体学报2015,Vol.44Issue(10):2702-2707,6.
人工晶体学报2015,Vol.44Issue(10):2702-2707,6.

微纳水溶解抛光工艺参数对KDP晶体面粗糙度影响的试验研究

Effect of Micro Water Dissolution Polishing Parameters on the Surface Roughness of KDP Crystal

王旭 1高航 1陈玉川 1滕晓辑1

作者信息

  • 1. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连116024
  • 折叠

摘要

关键词

KDP晶体/表面粗糙度/水溶解抛光

Key words

KDP crystal/surface roughness/water dissolution polishing

分类

数理科学

引用本文复制引用

王旭,高航,陈玉川,滕晓辑..微纳水溶解抛光工艺参数对KDP晶体面粗糙度影响的试验研究[J].人工晶体学报,2015,44(10):2702-2707,6.

基金项目

国家自然科学基金(51135002) (51135002)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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