人工晶体学报2015，Vol.44Issue(10)：2734-2738,5.
MPCVD生长单晶金刚石及发射光谱分析
Growth and Emission Spectra Analysis of Single Crystal Diamond by MPCVD
摘要
关键词
微波等离子体化学气相沉积/单晶金刚石/发射光谱/甲烷浓度Key words
MPCVD/single crystal diamond/OES/methane concentration分类
数理科学引用本文复制引用
吴超,马志斌,高攀,黄宏伟,付秋明,王传新..MPCVD生长单晶金刚石及发射光谱分析[J].人工晶体学报,2015,44(10):2734-2738,5.基金项目
国家自然科学基金(10875093) （10875093）
