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直流辉光放电CVD法均匀生长纳米金刚石薄膜的研究

游志恒 满卫东 吕继磊 阳硕 何莲 徐群峰 白华 江南

人工晶体学报2015，Vol.44Issue(10)：2746-2750,5.
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人工晶体学报2015，Vol.44Issue(10)：2746-2750,5.

直流辉光放电CVD法均匀生长纳米金刚石薄膜的研究

Uniform Growth of Nano-crystalline Diamond Thin Films by DC-glow Discharge CVD

游志恒 1满卫东 2吕继磊 1阳硕 2何莲 1徐群峰 1白华 2江南2

作者信息

  • 1. 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉430073
  • 2. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所,中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,宁波315201
  • 折叠

摘要

关键词

直流辉光放电/化学气相沉积/纳米金刚石/摩擦系数

Key words

DC glow-discharge/chemical vapor deposition/nano-crystalline diamond/friction coefficient

分类

数理科学

引用本文复制引用

游志恒,满卫东,吕继磊,阳硕,何莲,徐群峰,白华,江南..直流辉光放电CVD法均匀生长纳米金刚石薄膜的研究[J].人工晶体学报,2015,44(10):2746-2750,5.

基金项目

国家自然科学基金(11175137,A050610) （11175137,A050610）

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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