人工晶体学报2015,Vol.44Issue(10):2756-2761,6.
掺磷nc-Si:H薄膜的微结构与光电特性
Study on Microstructure and Optoelectrical Properties of Phosphorus Doped nc-Si:H Thin Films
摘要
关键词
磷掺杂氢化纳米晶硅薄膜/晶化率/界面体积分数/光吸收系数/暗电导率Key words
phosphorus-doped nc-Si:H thin films/crystallization rate/grain boundary volume fraction/light absorption coefficient/dark conductivity分类
数理科学引用本文复制引用
刘利,马蕾,吴一,范志东,郑树凯,刘磊,彭英才..掺磷nc-Si:H薄膜的微结构与光电特性[J].人工晶体学报,2015,44(10):2756-2761,6.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金(61204079) (61204079)
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