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掺磷nc-Si:H薄膜的微结构与光电特性

刘利 马蕾 吴一 范志东 郑树凯 刘磊 彭英才

人工晶体学报2015,Vol.44Issue(10):2756-2761,6.
人工晶体学报2015,Vol.44Issue(10):2756-2761,6.

掺磷nc-Si:H薄膜的微结构与光电特性

Study on Microstructure and Optoelectrical Properties of Phosphorus Doped nc-Si:H Thin Films

刘利 1马蕾 1吴一 2范志东 3郑树凯 1刘磊 1彭英才1

作者信息

  • 1. 河北大学电子信息工程学院,保定071002
  • 2. 河北大学计算材料研究中心,保定071002
  • 3. 河北大学医工交叉研究中心,保定071002
  • 折叠

摘要

关键词

磷掺杂氢化纳米晶硅薄膜/晶化率/界面体积分数/光吸收系数/暗电导率

Key words

phosphorus-doped nc-Si:H thin films/crystallization rate/grain boundary volume fraction/light absorption coefficient/dark conductivity

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘利,马蕾,吴一,范志东,郑树凯,刘磊,彭英才..掺磷nc-Si:H薄膜的微结构与光电特性[J].人工晶体学报,2015,44(10):2756-2761,6.

基金项目

国家自然科学基金青年科学基金(61204079) (61204079)

河北省自然科学基金(E2012201088,F2013201196) (E2012201088,F2013201196)

河北省高等学校科学技术研究项目(2011237,ZH2012019) (2011237,ZH2012019)

河北省青年拔尖人才计划(2013) (2013)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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