世界有色金属Issue(10)：64-65,2.
改良西门子法生产电子级多晶硅质量影响因素分析
Modified Siemens electronic grade polysilicon production quality influencing factors
杨紫琪1
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- 1. 青海黄河水电光伏产业技术有限公司,青海西宁810007
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摘要
关键词
改良西门子法/电子级多晶硅/质量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨紫琪..改良西门子法生产电子级多晶硅质量影响因素分析[J].世界有色金属,2015,(10):64-65,2.
