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长脉冲激光辐照单晶硅的表面形态

郭明金光勇高勋张巍

沈阳工业大学学报2015，Vol.37Issue(5)：548-552,5.

沈阳工业大学学报2015，Vol.37Issue(5)：548-552,5.DOI:10.7688/j.issn.1000-1646.2015.05.13

Surface morphology of monocrystalline silicon irradiated by long pulse laser

郭明 ¹金光勇 ²高勋 ¹张巍¹

作者信息

毫秒激光/脉冲激光/损伤/单晶硅/表面形态/微结构/解理/相变

millisecond laser/pulse laser/damage/monocrystalline silicon/surface morphology/microstructure/cleavage/phase transition

军事科技

郭明,金光勇,高勋,张巍..长脉冲激光辐照单晶硅的表面形态[J].沈阳工业大学学报,2015,37(5):548-552,5.

国家973项目(KYC-JH-XM-004). （KYC-JH-XM-004）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1000-1646

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