铸造技术2015，Vol.36Issue(10)：2427-2428,2.DOI:10.16410/j.issn1000-8365.2015.10.009
化学腐蚀条件下电气传感器用单晶硅的微观形貌演化
Microstructure Evolution of Monocrystalline Silicon Under Chemical Corrosion
摘要
关键词
单晶硅/化学腐蚀/微观组织Key words
monocrystalline silicon/chemical corrosion/microstructure分类
化学化工引用本文复制引用
刘峥..化学腐蚀条件下电气传感器用单晶硅的微观形貌演化[J].铸造技术,2015,36(10):2427-2428,2.基金项目
湖南省社科联科学研究基金项目(SKL-2012-2877) （SKL-2012-2877）
