强激光与粒子束2015，Vol.27Issue(12)：222-226,5.DOI:10.11884/HPLPB201527.124102
红外遥感器网状微结构制作工艺
Processing technique of reticular microstructure for infrared remote sensor
摘要
关键词
红外遥感器/等效介质理论/反应离子刻蚀技术/网状微结构/透射衍射效率Key words
infrared remote sensor/equivalent medium theory/reactive ion etching technology/reticular microstructure/transmission diffraction efficiency分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴博琦,董连和,孙艳军,冷雁冰,王丽..红外遥感器网状微结构制作工艺[J].强激光与粒子束,2015,27(12):222-226,5.基金项目
国家自然科学基金项目(11474037) （11474037）
高等学校博士学科点专项科研基金项目(20112216120005) （20112216120005）
吉林省科技发展计划项目(20121816,201201116) （20121816,201201116）
