强激光与粒子束2015，Vol.27Issue(12)：242-245,4.DOI:10.11884/HPLPB201527.125003
低导通电阻4H-SiC光导开关
4H-SiC photoconductive switch with low on-state resistance
孙艳玲 1杨萌 1宋朝阳 2石顺祥 1郭辉2
作者信息
- 1. 西安电子科技大学物理与光电工程学院,西安710071
- 2. 西安电子科技大学微电子学院,西安710071
- 折叠
摘要
关键词
碳化硅光导开/欧姆接触/离子注入/导通电阻Key words
silicon carbide photoconductive switches/ohmic contact/ion implantation/on-state resistance分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙艳玲,杨萌,宋朝阳,石顺祥,郭辉..低导通电阻4H-SiC光导开关[J].强激光与粒子束,2015,27(12):242-245,4.
