精密光学系统的热像差OA北大核心CSCDCSTPCD
Thermal aberration in precision optical system
为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性.介绍了热像差分析方法及验证实验方案.开展不同热载工况下热像差测试实验,并与仿真结果进行了对比.最后,综合实验与仿真结果,分析了特定热载条件下系统热像差中非轴对称像差成分以及系统最佳焦面的变化趋势,获得了热像差的瞬态特性.实验结果显示:在输入热载大小之比为1:4:9的情况下,实验和仿真获得的热像差均方根(RMS)值之比分别为1:3.75:9和1:4.…查看全部>>
张巍;于新峰;周连生;王学亮;倪明阳;彭海峰
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033
电子信息工程
精密光学系统激光辐照投影光刻物镜热像差
precision optical systemlaser irradiationprojection lithographic objective lensthermal aberration
《光学精密工程》 2015 (11)
3033-3040,8
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)
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