人工晶体学报2015，Vol.44Issue(12)：3565-3570,6.
溅射压强对掺钛氧化锌纳米薄膜微结构和光电性能的影响
Influence of Sputtering Pressure on the Microstructure and Optoelectronic Properties of the Ti-doped Zinc Oxide(TZO) Nano-films
摘要
关键词
掺钛氧化锌薄膜/磁控溅射/溅射压强/光电性能Key words
TZO thin film/magnetron sputtering/sputtering pressure/optoelectronic property分类
数理科学引用本文复制引用
陈真英,黄文华,李丽夏,黄宇阳,邓文..溅射压强对掺钛氧化锌纳米薄膜微结构和光电性能的影响[J].人工晶体学报,2015,44(12):3565-3570,6.基金项目
国家自然科学基金(11265002) （11265002）
广西自然科学重点基金(2010GXNSFD013036) （2010GXNSFD013036）
广西大学行健文理学院科研基金(2014ZKLX01) （2014ZKLX01）
