人工晶体学报2015，Vol.44Issue(12)：3730-3736,3741,8.
横向超声辅助线锯振动切割单晶SiC法向锯切力研究
Research on Normal Cutting Force of Transverse Ultrasonic-assisted Wire Saw Vibration Cutting SiC Monocrystal Wafer
李伦 1李艳军 1李济顺2
作者信息
- 1. 河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室,洛阳471003
- 2. 河南科技大学机电工程学院,洛阳471003
- 折叠
摘要
关键词
SiC/横向超声激励/金刚石线锯/振动切割/法向锯切力Key words
SiC/transverse ultrasound excitation/diamond wire saw/vibration cutting/normal cutting force分类
化学化工引用本文复制引用
李伦,李艳军,李济顺..横向超声辅助线锯振动切割单晶SiC法向锯切力研究[J].人工晶体学报,2015,44(12):3730-3736,3741,8.
