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MOCVD生长的GaN基LED的应力分析

张恒 曲爽 王成新 胡小波 徐现刚

人工晶体学报2015,Vol.44Issue(12):3811-3815,5.
人工晶体学报2015,Vol.44Issue(12):3811-3815,5.

MOCVD生长的GaN基LED的应力分析

Strain Analysis of Light-emitting Diodes based on GaN Structure Grown by MOCVD

张恒 1曲爽 2王成新 2胡小波 1徐现刚1

作者信息

  • 1. 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100
  • 2. 山东浪潮华光光电子股份有限公司,济南250100
  • 折叠

摘要

关键词

氮化镓/金属有机化学气相沉积法/翘曲度

Key words

GaN/MOCVD/warp

分类

数理科学

引用本文复制引用

张恒,曲爽,王成新,胡小波,徐现刚..MOCVD生长的GaN基LED的应力分析[J].人工晶体学报,2015,44(12):3811-3815,5.

基金项目

Natural Science Foundation of China under Grant (11134006) (11134006)

Shandong University Natural Science Special (2014QY005) (2014QY005)

863 Program (2015AA033302) (2015AA033302)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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