天津师范大学学报（自然科学版）2016，Vol.36Issue(1)：22-27,6.
偏压对TiN薄膜和Ag-TiN复合膜力学性能的影响
Influence of substrate bias voltage on mechanical properties of TiN and Ag-TiN nano-composite films
摘要
关键词
偏压/TiN薄膜/Ag-TiN复合膜/力学性能/亲水性能分类
数理科学引用本文复制引用
许双志,董磊,李德军..偏压对TiN薄膜和Ag-TiN复合膜力学性能的影响[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2016,36(1):22-27,6.基金项目
国家863计划计划资助项目(2015AA034702) （2015AA034702）
国家自然科学基金资助项目(51472180,51272176). （51472180,51272176）
