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等离子体材料银铟合金光学性质的组分依赖性

杨尚东郑玉祥张冬旭张金波胡二涛张荣君王松有陈良尧

红外与毫米波学报2016，Vol.35Issue(1)：1-5,14,6.

红外与毫米波学报2016，Vol.35Issue(1)：1-5,14,6.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2016.01.001

等离子体材料银铟合金光学性质的组分依赖性

Composition-dependent optical properties of plasmonic AgxIn1-x alloys

杨尚东 ¹郑玉祥 ¹张冬旭 ¹张金波 ¹胡二涛 ¹张荣君 ¹王松有 ¹陈良尧¹

作者信息

1. 复旦大学光科学与工程系,上海超精密光学制造工程技术研究中心,上海200433
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摘要

关键词

银铟合金薄膜/光学性质/椭圆偏振光谱仪/磁控溅射

Key words

Ag-In alloy films/optical properties/spectroscopic ellipsometry/magnetron sputtering

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨尚东,郑玉祥,张冬旭,张金波,胡二涛,张荣君,王松有,陈良尧..等离子体材料银铟合金光学性质的组分依赖性[J].红外与毫米波学报,2016,35(1):1-5,14,6.

基金项目

Supported by National Natural Science Foundation of China (61275160,11374055,11174058,60938004),Projects of Science and Technology Commission of Shanghai Municipality (12XD1420600) （61275160,11374055,11174058,60938004）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1001-9014

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