红外与毫米波学报2016，Vol.35Issue(1)：116-122,7.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2016.01.019
基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置
Optimization of measurement configuration in optical scatterometry for one-dimensional nanostructures based on sensitivity analysis
摘要
关键词
光学散射测量/灵敏度/测量配置/精度Key words
optical scatterometry/sensitivity analysis/measurement configuration/precision分类
数理科学引用本文复制引用
董正琼,刘世元,陈修国,石雅婷,张传维,江浩..基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置[J].红外与毫米波学报,2016,35(1):116-122,7.基金项目
国家自然科学基金(51475191和51405172) （51475191和51405172）
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ160002) （2011YQ160002）
中国博士后科学基金(2014M560607和2015T80791) （2014M560607和2015T80791）
教育部长江学者创新团队(IRT13017)Supported by National Natural Science Foundation of China(51475191 and 51405172) （IRT13017）
National Instrument Development Specific Project of China (2011YQ160002) （2011YQ160002）
China Postdoctoral Science Foundation (2014M560607 and 2015T80791) （2014M560607 and 2015T80791）
and Program for Changjiang Scholars and Innovative Research Team in University of Ministry of Education of China (IRT13017) （IRT13017）
