液晶与显示2016，Vol.31Issue(1)：52-57,6.DOI:10.3788/YJYXS20163101.0052
适合产业化的显示屏化学减薄工艺的研究
Research on display panel chemical slimming process for industrialization
摘要
关键词
显示屏/化学减薄/间歇式工艺/刻蚀Key words
display panel/chemical slimming/intermittent process/etching分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李世宁,邹凤君,王丽娟,何维威,闫闯,黄普林,孙洋,孙丽晶..适合产业化的显示屏化学减薄工艺的研究[J].液晶与显示,2016,31(1):52-57,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.21403016) （No.21403016）
长春工业大学大学生创新创业训练计划项目(No.2015cxcy102) （No.2015cxcy102）
Supported by National Natural Science Foundation of China(No.21403016) （No.21403016）
Undergraduate Traning Programs for Innovation and Entrepreneurship of Changchun University Technology(No.2015cxcy102) （No.2015cxcy102）
