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钛掺杂对Ge2Sb2Te5薄膜相变特性的改善

张颖魏慎金易歆雨程帅陈坤朱焕锋李晶吕磊

红外与毫米波学报2015，Vol.34Issue(6)：658-662,5.

红外与毫米波学报2015，Vol.34Issue(6)：658-662,5.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2015.06.004

钛掺杂对Ge2Sb2Te5薄膜相变特性的改善

Improvement of phase change behavior in titanium-doped Ge2Sb2Te5 films

张颖 ¹魏慎金 ¹易歆雨 ¹程帅 ¹陈坤 ¹朱焕锋 ¹李晶 ¹吕磊²

作者信息

1. 复旦大学光科学与工程系,上海200433
2. 上海超精密光学制造工程技术研究中心,上海200433
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摘要

关键词

钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜/相变特性/热稳定性/数据保持能力

Key words

Ti-doped Ge2Sb2Te5 films/phase-change behavior/thermal stability/data retention performance

分类

数理科学

引用本文复制引用

张颖,魏慎金,易歆雨,程帅,陈坤,朱焕锋,李晶,吕磊..钛掺杂对Ge2Sb2Te5薄膜相变特性的改善[J].红外与毫米波学报,2015,34(6):658-662,5.

基金项目

Supported by Natural Science Foundation of Shanghai (13ZR1402600), National Natural Science Foundation of China (60578047), the National "973" Program of China (2012CB934303,2009CB929201), Shanghai Commission of Science and Technology (06DJ14007), National "02" Project of China (2011ZX02402), and Natural Science Foundation of Shandong Province (2011ZRFL019) （13ZR1402600）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1001-9014

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