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金属氧化物(IGZO)TFT-LCD的工艺技术发展趋势及方向

黄伟剑

世界有色金属Issue(2):108-109,2.
世界有色金属Issue(2):108-109,2.

金属氧化物(IGZO)TFT-LCD的工艺技术发展趋势及方向

Development trend and direction of application of indium gallium zinc oxide TFT-LCD to IGZO Technology

黄伟剑1

作者信息

  • 1. 中国电子工程设计院,北京100142
  • 折叠

摘要

关键词

铟镓锌氧化物/TFT-LCD/工艺技术

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

黄伟剑..金属氧化物(IGZO)TFT-LCD的工艺技术发展趋势及方向[J].世界有色金属,2016,(2):108-109,2.

世界有色金属

1002-5065

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