北京信息科技大学学报(自然科学版)2016,Vol.31Issue(1):38-42,5.DOI:10.16508/j.cnki.11-5866/n.2016.01.008
一种MEMS加速度计的温度误差补偿方法
A method of temperature error compensation for MEMS accelerometer
摘要
关键词
微电子机械系统/加速度计/最小二乘法/温度补偿分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郝嵘,高国伟,潘宏生,何刚,马超..一种MEMS加速度计的温度误差补偿方法[J].北京信息科技大学学报(自然科学版),2016,31(1):38-42,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61271047) (61271047)
北京市属高校创新能力提升计划项目(TJSHG201310772026) (TJSHG201310772026)