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一种MEMS加速度计的温度误差补偿方法

郝嵘 高国伟 潘宏生 何刚 马超

北京信息科技大学学报(自然科学版)2016,Vol.31Issue(1):38-42,5.
北京信息科技大学学报(自然科学版)2016,Vol.31Issue(1):38-42,5.DOI:10.16508/j.cnki.11-5866/n.2016.01.008

一种MEMS加速度计的温度误差补偿方法

A method of temperature error compensation for MEMS accelerometer

郝嵘 1高国伟 1潘宏生 1何刚 1马超1

作者信息

  • 1. 北京信息科技大学 自动化学院,北京100192
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摘要

关键词

微电子机械系统/加速度计/最小二乘法/温度补偿

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郝嵘,高国伟,潘宏生,何刚,马超..一种MEMS加速度计的温度误差补偿方法[J].北京信息科技大学学报(自然科学版),2016,31(1):38-42,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(61271047) (61271047)

北京市属高校创新能力提升计划项目(TJSHG201310772026) (TJSHG201310772026)

北京信息科技大学学报(自然科学版)

1674-6864

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