光学精密工程2016，Vol.24Issue(2)：350-357,8.DOI:10.3788/OPE.20162402.0350
单晶硅各向异性湿法刻蚀的形貌控制
Morphologic control of wet anisotropic silicon etching
摘要
关键词
单晶硅/湿法刻蚀/形貌控制/三重溶液/表面粗糙度/凸角Key words
silicon/wet etching/morphological control/ternary solution/surface roughness/convex corner分类
机械制造引用本文复制引用
姚明秋,唐彬,苏伟..单晶硅各向异性湿法刻蚀的形貌控制[J].光学精密工程,2016,24(2):350-357,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51305412) （No.51305412）
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室研究基金资助项目(No.2012CJMZZ00003) （No.2012CJMZZ00003）
