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种子层及掺杂浓度对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al薄膜光电性能的影响

彭寿 汤永康 王芸 金良茂 甘治平 王东 王萍萍 操芳芳

硅酸盐通报2016,Vol.35Issue(2):543-549,7.
硅酸盐通报2016,Vol.35Issue(2):543-549,7.

种子层及掺杂浓度对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al薄膜光电性能的影响

Influence of Al Concentration and Seed Layers on Electro-optical Properties of Al Doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-gel

彭寿 1汤永康 1王芸 1金良茂 1甘治平 1王东 1王萍萍 1操芳芳1

作者信息

  • 1. 蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室,蚌埠233000
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摘要

关键词

Al掺杂浓度/种子层/铝掺杂氧化锌薄膜/光电性能

Key words

Al doping concentration/seed layer/aluminum doped zinc oxide films/electro-optical properties

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

彭寿,汤永康,王芸,金良茂,甘治平,王东,王萍萍,操芳芳..种子层及掺杂浓度对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al薄膜光电性能的影响[J].硅酸盐通报,2016,35(2):543-549,7.

基金项目

国家“973”计划(2012CB724608) (2012CB724608)

安徽省自然科学基金(1408085MKL67) (1408085MKL67)

安徽省科技攻关计划项目(1301021015) (1301021015)

硅酸盐通报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-1625

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