光学精密工程2015，Vol.23Issue(12)：3350-3356,7.DOI:10.3788/OPE.20152312.3350
时分复用数字闭环电容式微加速度计接口电路
Interface circuit for digital close-loop capacitive microaccelerometer with time division multiplexing
摘要
关键词
电容式微加速度计/数字闭环/接口电路/Sigma Delta调制器/时分复用Key words
capacitive microaccelerometer/digital close-loop/interface circuit/Sigma Delta modulator/time division multiplexing分类
机械制造引用本文复制引用
储宜兴,池保勇,刘云峰,董景新..时分复用数字闭环电容式微加速度计接口电路[J].光学精密工程,2015,23(12):3350-3356,7.基金项目
十二五预研资助项目(No.20114113015) （No.20114113015）
