人工晶体学报2016，Vol.45Issue(2)：371-375,5.
清洗工艺对金属辅助刻蚀制备黑硅及其光伏器件的影响
Influence of Cleaning Process on Metal-Assisted Etching Black Silicon and Its Photovoltaic Device
摘要
关键词
黑硅/清洗工艺/少子寿命/太阳电池Key words
black silicon/cleaning process/minority carrier life time/solar cell分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
罗旌旺,蒲天,吴兢,芮春保,孔凡建,沈鸿烈..清洗工艺对金属辅助刻蚀制备黑硅及其光伏器件的影响[J].人工晶体学报,2016,45(2):371-375,5.基金项目
中小企业发展专项资金(SQ2013ZOC100014) （SQ2013ZOC100014）
