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溅射气氛对ZnO∶N薄膜光学性能的影响

高丽丽李淞菲曹天福张雪

吉林大学学报（理学版）2016，Vol.54Issue(1)：138-142,5.

吉林大学学报（理学版）2016，Vol.54Issue(1)：138-142,5.DOI:10.13413/j.cnki.jdxblxb.2016.01.23

Effect of Sputtering Gas on the Optical Properties of ZnO ∶ N Thin Films

高丽丽 ¹李淞菲 ¹曹天福 ¹张雪¹

作者信息

ZnO∶N薄膜/溅射气氛/光学性能

ZnO ∶ N film/sputtering gas/optical property

数理科学

高丽丽,李淞菲,曹天福,张雪..溅射气氛对ZnO∶N薄膜光学性能的影响[J].吉林大学学报（理学版）,2016,54(1):138-142,5.

吉林省教育厅“十二五”科学技术研究项目(批准号:2013189). （批准号:2013189）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1671-5489

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