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基于4晶体管像素结构的互补金属氧化物半导体图像传感器总剂量辐射效应研究OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

Total ionizing dose radiation effects in foue-transistor complementary metal oxide semiconductor image sensors

中文摘要

对基于4晶体管像素结构互补金属氧化物半导体图像传感器的电离总剂量效应进行了研究,着重分析了器件的满阱容量和暗电流随总剂量退化的物理机理.实验的总剂量为200 krad(Si),测试点分别为30krad(Si),100 krad(Si),150 krad(Si)和200 krad(Si),剂量率为50 rad(Si)/s.实验结果发现随着辐照总剂量的增加,器件的满阱容量下降并且暗电流显著增加.其中辐照使得传输门沟道掺杂分布发生改变是满阱容量下降的主…查看全部>>

王帆;李豫东;郭旗;汪波;张兴尧;文林;何承发

中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室,新疆电子信息材料与器件重点实验室,中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011 中国科学院大学,北京 100049中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室,新疆电子信息材料与器件重点实验室,中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室,新疆电子信息材料与器件重点实验室,中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室,新疆电子信息材料与器件重点实验室,中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011 中国科学院大学,北京 100049中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室,新疆电子信息材料与器件重点实验室,中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011

互补金属氧化物半导体图像传感器电离总剂量效应钳位二极管满阱容量

complementary metal oxide semiconductor image sensortotal ionizing dose radiation effectpinned photodiodefull well chargecapacity

《物理学报》 2016 (2)

176-181,6

10.7498/aps.65.024212

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