粉末冶金技术2015，Vol.33Issue(6)：460-464,5.
氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状
The research of YSZ ceramic coating's preparation techniques on the surface of etching machine process chamber
纪箴 1王聪瑜 1夏洋 2贾成厂 1张有茶 1程诚 1黄小泓1
作者信息
- 1. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京100083
- 2. 中科院微电子所,北京100029
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摘要
关键词
YSZ涂层/等离子喷涂/涂层性能Key words
YSZ coating/plasma spray/coating performance引用本文复制引用
纪箴,王聪瑜,夏洋,贾成厂,张有茶,程诚,黄小泓..氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状[J].粉末冶金技术,2015,33(6):460-464,5.
