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大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题

刘志祥 邢廷文 蒋亚东 吕保斌

光学精密工程2016，Vol.24Issue(3)：482-490,9.
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光学精密工程2016，Vol.24Issue(3)：482-490,9.DOI:10.3788/OPE.20162403.0482

大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题

Measurement of wavefront aberration for high NA objective and some special problems

刘志祥 1邢廷文 2蒋亚东 3吕保斌1

作者信息

  • 1. 中国科学院光电技术研究所,四川成都610209
  • 2. 电子科技大学,四川成都610054
  • 3. 中国科学院大学,北京100049
  • 折叠

摘要

关键词

波像差测量/剪切干涉仪/大数值孔径(NA)物镜/光刻物镜

Key words

wavefront aberration measurement/shearing interferometer/high Numerical Aperture(NA) objective/lithographic objective

分类

机械制造

引用本文复制引用

刘志祥,邢廷文,蒋亚东,吕保斌..大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题[J].光学精密工程,2016,24(3):482-490,9.

基金项目

国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02204) （No.2009ZX02204）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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