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微缩投影系统的垂轴放大率测量

谢耀王丽萍郭本银王君苗亮王辉周烽

光学精密工程2016，Vol.24Issue(1)：1-6,6.

光学精密工程2016，Vol.24Issue(1)：1-6,6.DOI:10.3788/OPE.20162401.0001

Measurement of transversal magnification for reduced projection system

谢耀 ¹王丽萍 ¹郭本银 ¹王君 ¹苗亮 ¹王辉 ¹周烽¹

作者信息

成像系统/微缩投影系统/垂轴放大率测量/点衍射干涉仪/离焦

imaging system/reduced projection system/transversal magnification measurement/point diffraction interferometer/defocus

机械制造

谢耀,王丽萍,郭本银,王君,苗亮,王辉,周烽..微缩投影系统的垂轴放大率测量[J].光学精密工程,2016,24(1):1-6,6.

国家科技重大专项基金资助项目(No.2008ZX02501-008) （No.2008ZX02501-008）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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