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磁控共溅射制备AGZO薄膜及性能分析

刘结 景晨蕾 唐武

科技创新与应用Issue(12)：294-294,1.
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科技创新与应用Issue(12)：294-294,1.

磁控共溅射制备AGZO薄膜及性能分析

刘结 1景晨蕾 1唐武1

作者信息

  • 1. 电子科技大学 微电子与固体电子学院，四川 成都 610054
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摘要

关键词

共溅射/AGZO薄膜/结构/电阻率

引用本文复制引用

刘结,景晨蕾,唐武..磁控共溅射制备AGZO薄膜及性能分析[J].科技创新与应用,2016,(12):294-294,1.

科技创新与应用

2095-2945

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